陳暉插話道：“千里之足，始于腳下，只要我們有決心，再加上超前的眼光，絕對就能成功，再說了，光刻機雖然零件眾多，但螺絲外殼什么的，可以不算數(shù)，最核心的也不過是照明系統(tǒng)和投影物鏡、工件臺掩模臺、自動對準、調(diào)焦調(diào)平測量、掩模傳輸、硅片傳輸、環(huán)境控制、整機框架及減振、整機控制、整機軟件這些系統(tǒng)，再加上光刻膠，化學溶劑和顯影液等輔助材料，需要個幾十家高科技企業(yè)通力合作，我們完全可以辦到?！?/p>