重返2000更新時間:2024-04-28 18:41:54
陳暉插話道:“千里之足,始于腳下,只要我們有決心,再加上超前的眼光,絕對就能成功,再說了,光刻機雖然零件眾多,但螺絲外殼什么的,可以不算數(shù),最核心的也不過是照明系統(tǒng)和投影物鏡、工件臺掩模臺、自動對準、調(diào)焦調(diào)平測量、掩模傳輸、硅片傳輸、環(huán)境控制、整機框架及減振、整機控制、整機軟件這些系統(tǒng),再加上光刻膠,化學溶劑和顯影液等輔助材料,需要個幾十家高科技企業(yè)通力合作,我們完全可以辦到?!?/p>