國(guó)家超導(dǎo)約束聚能研究所。

光源實(shí)驗(yàn)室。

距上次EUV光源功率實(shí)現(xiàn)35W穩(wěn)定輸出功率后，后續(xù)的各項(xiàng)驗(yàn)證性實(shí)驗(yàn)，也是進(jìn)展頗為順利。

不過，李陽明白。

要想搞出最先進(jìn)的光刻機(jī)，且滿足以后更多的研究，單單是這個(gè)成績(jī)，還是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。

所以，在確定35W的輸出功率沒有任何問題后，他便組織團(tuán)隊(duì)的成員，繼續(xù)開展功率提升任務(wù)。