物理氣相沉積/化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，制造金屬互聯(lián)層并使其平坦化。計量與檢測設(shè)備，確保每一步工藝的精確性。清洗設(shè)備，每一步工藝后都需要徹底清洗晶圓。

如果不是兩位老人在計算成本的時候，一一給張煥解說列舉，張煥也不會那么清楚。

之前是大方向制定計劃，現(xiàn)在是真的深入踏足其中了。

此時是2012年，國內(nèi)設(shè)備商如七星華創(chuàng)、北微、中微、中電科等才剛剛起步，產(chǎn)品大多只能滿足部分中低端需求。